何謂無塵室作業環境
因為許多精密電子產品,必須在無塵環境生產(也要恆溫恆濕)~不然無法達到所謂的良率~而無塵室是透過高換氣次數來將空氣中的微塵立子去除(0.5微米以下,頭髮直徑約200豪米,1毫米=1000微米)所謂換氣次數就是說將整個室內容積(米立方)的空氣在一小時全部循環一次==>比如說室內面積是 3M*3M 高度3M總容積就是9立方米 再一小時換一次就是 9 立方米/小時的風量~~通常無塵式的換氣次數高達60次以上!也就是說9立方米的空間需要 540 立方米/小時的風量!一小時之內將室內的所有空氣循環60次!每一次循環均透過高效率濾網(hepa)來去除微塵立子!同時室內要保持正壓,也就是說無塵室的風只能往外洩,不能將外界的無塵室洩以免將汙染源帶入!!!如同負壓病房只是原理相反~~~
無塵室的定義如下
無塵室是一個為了對空間內空氣中的微粒做控制,所建造的特殊封閉性建築。一般而言,無塵室也會對溫溼度、氣流運動模式、與震動噪音等環境因素做控制。 無塵室依等級的不同,對一定空間內的微塵粒子最大容許量亦有一定規範,在國際標準中最常用的規範有 Fed-Std-209E及ISO-14644,以下表格為Fed-Std-209E及ISO-14644的等級定義。
無塵室的等級約略如下
塵室依等級的不同而在氣流設計上會有所區別,一般可分為
垂直層流方式(Class 1~100)
水平層流方式(Class 1~1,000)
亂流方式(Class 1,000~100,000)
Class數值越小 代表越乾淨 等級越高 |